طراحی و شبیه سازی سوئیچ خازنی mems با ولتاژ تحریک پایین در بازه فرکانسی 20 تا 40 گیگاهرتز

پایان نامه
  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه فردوسی مشهد - دانشکده مهندسی
  • نویسنده پروین بهمن یار
  • استاد راهنما خلیل مافی نژاد
  • تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
  • سال انتشار 1389
چکیده

رشد روز افزون به کارگیری سیستم های فرکانس بالا، نیاز به مدارها و سیستم های کم هزینه تر و کوچک تر با مشخصات فرکانس بالای بهتر را بیشتر کرده است. سوئیچ های میکروالکترومکانیکی، یکی از انواع سوئیچ های فرکانس بالا هستند که در سال های اخیر به دلیل ویژگی های فرکانس بالای بهینه از جمله ایزولاسیون بالا، تلفات کم، خطی بودن، قابلیت ساخت با حجم و هزینه کم و قابلیت مجتمع شدن با تکنولوژی ارزان قیمت cmos، در بسیاری از سیستم های الکتریکی جایگزین ترانزیستورها، دیودها و همچنین سوئیچ های پروزن مکانیکی شده اند. سوئیچ های میکروالکترومکانیکی الکترواستاتیک معمولاً برای تحریک به ولتاژ بالا احتیاج دارند؛ به همین دلیل در مدارهای مجتمع با ولتاژ کاری پایین، به مبدل های ولتاژ با تلفات و حجم زیاد، نیاز دارند و به سادگی قابل مجتمع شدن نیستند. در این تحقیق انواع سوئیچ های میکروالکترومکانیکی معرفی و ساختارهای مختلف گزارش شده، برای کاهش ولتاژ تحریک بررسی شده اند. ملاحظات طراحی برای کاهش ولتاژ تحریک و افزایش قابلیت اطمینان به تفضیل مورد بحث قرار گرفته اند. علاوه بر این یک سوئیچ میکرو الکترومکانیکی الکترواستاتیک با سطوح تحریک بزرگ و جداگانه، برای کاربرد در باند فرکانسی 20 تا 40 گیگاهرتز، با ولتاژ تحریک کمتر از 10 ولت و ضریب فنر بالا ارائه شده است. سوئیچ از نوع خازنی موازی با دی الکتریک سیلیکون نیتراید با ضریب دی الکتریک 7.6 است. ضریب فنر سوئیچ 18 نیوتن بر متر محاسبه شده است که قابلیت اطمینان سوئیچ را تضمین می کند. علاوه بر این عملکرد الکترومغناطیسی و مکانیکی سوئیچ به ترتیب با استفاده از نرم افزار های em3ds و ansys شبیه سازی و نتایج بدست آمده با نتایج حاصل از تحلیل دستی مقایسه شده اند. در انتها عملکرد فرکانس بالای سوئیچ با بکارگیری مدل ? بهینه شده است. نتایج شبیه سازی نشان می دهند که با بکارگیری مدل ? پارامترهای فرکانس بالا بسیار بهبود پیدا کرده اند. سوئیچ طراحی شده با مدل ? دارای ایزولاسیون 20 دسی بل در فرکانس 20 گیگاهرتز و 39 دسی بل در فرکانس 40 گیگاهرتز است. همچنین تلفات حالت هدایت و تلفات بازگشتی در حالت عدم تحریک به ترتیب کمتر از 0.3 دسی بل و بیشتر از 16 دسی بل می باشد. نتیجه شبیه سازی الکترومکانیکی نشان می دهد که تنش باقی مانده در بازو در حدود 6 مگاپاسکال و در حجم بسیار کوچکی حداکثر به 10 مگاپاسکال می رسد. همچنین ولتاژ تحریک با شبیه سازیansys ، 7.8 ولت بدست آمده است.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

طراحی و شبیه سازی سوئیچ خازنی mems با ولتاژ تحریک پایین

در این پایان نامه یک ساختار جدید جهت کاهش ولتاژ تحریک، که از چالش های بزرگ سوئیچ mems می باشد، ارائه شده است. جهت طراحی و شبیه سازی پارامترهای سوئیچ ها از نرم افزار ansys استفاده شده است. در این نرم افزار طرح های ارائه شده از نظر میزان ولتاژ تحریک، ولتاژ شکست، ماکزیمم خمش، ضریب فنر، جرم بیم، فرکانس رزونانس و ظرفیت خازنی مورد تحلیل و مقایسه قرار گرفته اند. از مهمترین خصوصیات و ویژگی های ساختار ب...

طراحی، شبیه سازی و ساخت سوئیچ خازنی rf memsبر روی بستر آلومینا

در این مقاله طراحی، شبیه­سازی و ساخت یک سوئیچ خازنی rf mems موازی کم تلف بروی موجبر هم­صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس ghz 60-40 ارائه شده است. مکانیزم تحریک این سوئیچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم­صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه ω50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس سوئیچ مورد نظر طراحی و پس از انتخاب ابعاد آن، پارامترهای مهم آن توسط شبیه­سازی المان محدود و موجی کامل با ن...

متن کامل

طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی با تکنولوژی mems

در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...

15 صفحه اول

طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی mems

بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...

15 صفحه اول

طراحی،آنالیز و شبیه سازی آنتن شیپوری چهارتیغه ای در باند فرکانسی 2 تا 18 گیگاهرتز

آنتن¬های شیپوری کاربرد بسیار زیادی در سیستم¬های مخابراتی از جمله رادار، سیستم¬های ردگیری ماهواره، تغذیه آنتن¬های بشقابی(باز تابنده)، تستهای emc، جنگ الکترونیک، سیستم¬های جهت یاب، آشکارساز و غیره، دارند. این کاربردهای فراوان به دلیل ویژگی¬های استثنایی این آنتن¬ها مانند پهنای باند مناسب، تطبیق پذیری و همه کاره بودن ، تغذیه نسبتاً آسان، ساخت نسبتاً آسان، بهره بسیار بالا و جهت بندی خوب می باشد. بدلی...

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه فردوسی مشهد - دانشکده مهندسی

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023